原子力显微镜 (AFM) 是一种扫描探针显微镜 (SPM),通过测量探针和样本表面之间的力来收集相关信息。它能创建一个原子级的高分辨率样本表面图像,广泛用于生物样本、聚合物和金属等各种材料的成像应用,以及测量材料的机械特性,比如弹性和摩擦力等。
该多功能技术的常见应用包括:
生物技术:细胞和组织成像,以及蛋白质和DNA等生物分子的结构和性质的研究。
材料科学:AFM广泛用于研究和表征材料的结构和性质,比如金属、聚合物和陶瓷,还可测量样本表面之间的力。
纳米技术:AFM不仅能用于研究纳米材料的性质,还可用于制造纳米材料。
半导体制造:凭借原子级分辨率,AFM成为半导体制造过程中的重要工具之一,广泛用于硅晶片的刻蚀和检测应用。
Queensgate高性能压电平台适用于原子力显微镜的样本扫描器,可提供亚纳米级的空间分辨率。它还具有其他重要优势,比如:高动态性能,使得Z轴尺寸能更快适应样本的拓扑结构,从而加快X和Y轴上扫描样本表面的速度;超快速度,能减少测量时间和可能的温度漂移。
Queensgate闭环速度控制能以高达4mm/s的光栅速度捕获高质量(高分辨率)图像。
100 x 100 μm至600 x 600 μm的扫描区域可容纳较大样本和有效载荷,如硅晶圆。
NPS-XY-100D 铝制双轴 100μm x 100μm 载物台。
NPS-XY-100A 超级殷钢双轴 100μm x 100μm 载物台
NPS-X-15A/B 超薄快速 20 微米载物台
NPS-Z-15A 超低漂移15 微米载物台