基于显微镜的计量学依赖于高性能的运动控制和高质量的光学器件。组件的表征和测量对于制造过程至关重要，并且执行方式可根据显微镜的不同因地制宜，比如： 

基于对比度的信息可根据对焦来确定地貌；闭环平台移动控制能精确定位物体的相对横向位置。高端显微镜技术，如原子力显微镜，能在超高分辨率的条件下应用这些原理，实现皮米级的测量精度。 

误差分析和合规性  

计量学可用于确定样本的合规性，判断是否符合工业标准或设计规范。这样可以将偏差符合标准或规范要求的样本正确归类，或者统计错误数据以便纠正。计量学显微镜可执行各种测量，包括：

表面分析：原子力显微镜或电子显微镜可用于测量亚纳米级的粗糙度和波纹度，而共聚焦显微镜或白光干涉显微镜结合高性能显微镜自动化组件可实现纳米级的测量精度。 

三维测量：常规显微镜光学器件结合自动化组件能以微米级的分辨率测量物体外形剖面，而采用原子力显微镜 (AFM)、电子显微镜或其他方法可获得更高的分辨率。 

特征识别：成像方法的分辨率不足会极大地影响测量质量。暗场显微镜和微分干涉对比显微镜 (DIC) 可用于识别标准明场显微镜难以识别特定特征。 

 来自显微镜专家的闭环自动化

我们致力于生产显微镜自动化组件已有30多年的历史，专业过硬，经验丰富，产品范围涵盖从传统复合显微镜到市场领先的纳米定位技术。 

我们的ProScan III平台系统采用高质量的直线编码，并经过一系列测试程序，可确保符合亚微米级分辨率显微镜的应用要求。 

我们的Queensgate纳米定位技术基于电容传感器和低噪声电子设备，能实现皮米级的测量精度。实践证明，我们的产品，比如NPS-XY-100A，非常适合原子力显微镜等高端显微镜技术。 

 主要特点

高线性度：0.005% (NPS-XY-100A) 

高速：1.4ms步进稳定时间 (NPS-X-15A)