04.06.25

“最高精度定位”:Queensgate特推出新型重型压电位移台

Queensgate Instruments扩展了其高性能纳米定位压电位移台产品线,推出了一款杠杆放大式重型位移台,能够承载高达6千克的负载。

该位移台行程范围为250微米,有两种配置可供选择:用于水平移动的QGNPS-X-250B和用于垂直移动的QGNPS-Z-250B。两种配置都能提供精密制造应用所需的亚纳米级分辨率。

这款位移台通过柔性导向与电容式传感器相结合来实现高精度移动,Queensgate产品经理Craig Goodman解释道:

“该系统采用柔性导向运动,几乎消除了旋转误差。电容式传感器直接测量平台的移动,再结合压电驱动器近乎无限的分辨率以及我们的低噪声控制电子设备,有助于确保实现最高精度的定位。”

用户可以根据自身应用和负载选择校准参数,以实现快速的阶跃稳定时间,在最大负载下,2微米的阶跃响应时间仅为18毫秒。

这款位移台专为要求苛刻的高精度工业应用而设计,典型用途包括:

•    光学物镜定位
•    白光表面计量
•    半导体检测
•    精密制造

如需了解更多信息并下载产品数据表,请访问nanopositioning.com。